MEMS加工的MEMS产业早在其发展的早期就已经显示出波浪状的发展状态。在早期，一些半导体公司将MEMS添加到了他们可以生产的一系列器件中，并且一些相同的晶圆厂也逐渐成为MEMS器件加工公司。
但是每个MEMS代工公司都有其独特的优势，不同的MEMS代工，不同的起跑线。一般而言，为了吸引具有自己特征的客户，采取了不同的策略。
MEMS代工厂大致可分为四种类型：1.为硅晶圆代工厂提供MEMS代工厂服务2. OEM供应商的MEMS代工厂3. IDM的MEMS代工厂4.纯MEMS代工厂。从1和2代工厂类型的角度来看，MEMS代工厂选择IDM或OEM是因为其自身的优缺点。
IDM已经开发了20或30年，但是客户关心的知识产权安全问题尚未得到很好的解决。因此，对于铸造厂，他们将重点放在流程和客户上。
纯MEMS代工公司可以同时处理多个流程和多个客户，这是最灵活的模型。不同类型的MEMS铸造厂在技术上有所不同。
在大多数情况下，MEMS芯片和ASIC芯片是分开制造的，然后通过系统级封装或键合工艺进行集成。对于设计人员而言，封装集成的灵活性更大。
一些MEMS代工厂提供MEMS-CMOS技术，该技术可以将两个芯片集成到一个芯片中。它的优点是：降低了功耗，提高了速度并降低了寄生效应。
需要权衡的是制造复杂性的增加和热预算的减少。为了适应市场的快速发展，MEMS代工公司还可以提供多种堆叠技术，例如3DTSV，2.5D中介层等。
随着电子市场的普及，对MEMS代工的需求也在增加，这也促使MEMS代工产品的尺寸和成本越来越小。
