电感测微计 - ALPS

电感测微计

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主要技术指标如下：（1）测量范围：0~±30μm和0~±500μm; （2）指示误差：0~土壤30μm为0.1μm，0~±500μm为1μm; 3）分辨率：0~±30μm为0.01μm，0~±m为0.1μm。

（4）极性：当测量值为负时，自动显示“ - ”;当它为正时，没有极性符号。

电感测微仪可用于检测工件厚度，内径，外径，椭圆度，平行度，直线度，径向跳动等，广泛应用于精密机械制造，晶体管和集成电路制造，以及国防，科研，计量部门的精密长度测量。

电感式千分尺的硬件电路主要包括电感式传感器，正弦波振荡器，放大器，相敏检测器和单片机系统。

正弦波振荡器为电感式传感器和相敏检测器提供频率和幅度稳定的激励电压。

从正弦波振荡器输出的信号被施加到由线圈和测量头中的电位计形成的电感器桥。

工件的微小位移驱动两个线圈的电枢运动通过电感传感器的探头，使得两个线圈中的电感相对变化。

当电枢位于两个线圈的中间时，两个线圈的电感相等并且电桥平衡。

当探头上下移动电枢时，如果上线圈的电感增加，则下线圈的电感减小;如果上线圈的电感减小，则下线圈的电感增加。

交流阻抗相应地改变，并且电桥失去平衡并输出调制信号，其幅度与位移成比例，频率与振荡器频率相同，并且相位对应于位移的方向。

信号被放大，相敏检测器识别极性，得到与电枢位移对应的直流电压信号，通过A / D转换器输入到单片机，并进行数据处理显示，传输，超差报警和统计。

分析等。

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